“第一项，关于光刻机的加工精度。华晶集团要求，投标方提供的光刻机，加工精度必须达到0.5微米级别。关于这一点，请各位做出说明。”
方剑阁镇定自若的坐在主位上，通过扬声器将自己的话传遍了整个会场：“请尼康公司的代表先回答，然后按照阿斯麦、佳能和泛翰集团的顺序，依次进行发言。”
对这种招标方式白石茉莉奈倒是毫不陌生，她清了清嗓子落落大方的说道：“尼康公司推出的0.5微米工艺NSR-0500D8F光刻机，采用高密度石英材料镜头……”
尼康和阿斯麦、佳能这三家的光刻机，市场上早就已经耳熟能详，如今老调重弹大家自然没有什么激情。但是轮到周硕的时候，不仅是方剑阁，就连其他三家公司也都紧张起来。泛翰集团如今代表的不仅是自己，更是中国光刻机领域的领先水平。究竟中国有没有真材实料，只有这时候才能见真章。
“我们泛翰集团推出的0.5微米工艺光刻机，型号FH-500BJ。使用步进式重复投影曝光技术，使加工芯片的线宽能够达到0.5微米级别。掩膜板缩小比例4比1，曝光区域22×22mm。一共使用了十八组棱镜，二十三组透镜……”
三家光刻机厂商的代表越听越是吃惊，从周硕所说的技术细节来看，中国人竟然真的已经彻底掌握了0.5微米光刻机的全部关键技术！可是这些技术的数据在公开渠道，是不可能搜集到的。何况是被严密封锁的中国大陆企业，除非真的吃透了这些技术的精髓，否则根本无法得到这些数据。
“周桑，关于你的描述里有一点，能否请你解释一下。”竞标过程里，竞标对手间互相进行诘问也是保留项目了，白石茉莉奈当然不可能只做一个看客：“在透镜的介绍中，我发现你们只使用了二十三组。但是根据我们的计算，想要实现多次曝光，最少也需要二十五组镜头。能否解释一下，为何你们少用了两组？”
周硕抬头看了看这个美艳的日本女人，面不改色的点了点头说道：“FH-500BJ最初的设计中，确实是使用了二十五组镜头。但后来我们发现可以对第八组光刻镜头进行优化，只要把镜头的弧度根据夏尔谢夫公式进行重新设计，就能节省两组镜头的使用。”
“夏尔谢夫公式？”白石茉莉奈愣了愣，奇怪的说道：“我怎么没有听说过这个公式？”
当然没有什么夏尔谢夫公式，其实原因很简单，周硕前世工作的实验室里，就有一台尼康生产的0.5微米步进式光刻机。由于是二十一世纪的产品，为了节约生产成本尼康公司对其进行了优化设计。通过后来开发的先进技术，优化了镜片的设置。使得镜片数量从二十五组减少到了二十三组。
而周硕在进行试验的时候，早就已经对这台光刻机的条件摸的烂熟。如今把这个技术点抛出来，当真是用尼康的技术，打了尼康一个措手不及。
“哦，这是我们公司聘请的俄国工程师夏尔谢夫先生的成果。”周硕满嘴跑火车，心里笑道内伤道：“他是前苏联罗蒙诺索夫实验室的一名研究员……”
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